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Czochralski硅生长结构损失统计分析
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商业上,Czochralski方法是用于半导体和太阳能电池应用的单晶硅的最常用方法。传统上使用嵌套单环控制器控制了该过程。由于CZ的复杂和非线性性质......
数值模拟的可靠性结果强烈取决于输入数据,特别是在炉联的热物理性质上,例如,石墨导热系和钢表面发射率。不确定性始终参与这些参数的测量。一种...